Лабораторные работы

1. Исследование вольт-фарадных характеристик МДП-структур

Вопросы к экзамену (зимняя сессия 2022/23)

1. Определение поверхности. Виды поверхности. Атомная структура поверхностного слоя. Классификация дефектов на поверхности.

2. Релаксация и реконструкция поверхности. Физическая, химическая и индуцированная неоднородности.

3. Способы приготовления и очистки поверхности. Методы предварительной и вакуумной очистки.

4. Поверхность в условиях вакуума. Устройство вакуумных систем, насосов и измерителей уровня вакуума.

5. Характер сил связи и виды связей на поверхности. Определение адсорбции. Физические характеристики адсорбции. Закон Генри. Изотермы адсорбции Ленгмюра, БЭТ, Холси. Экспериментальные методы исследования адсорбции, в том числе весовой метод и метод тепловой вспышки.

6. Методы эффекта поля в исследовании поверхности. Поверхностный потенциал и состояния ОПЗ, ёмкость МДП-структуры.

7. Методы НЧ и ВЧ ВФХ для определения параметров МДП-структур. Методы Берглунда и Термана для определения плотности поверхностных состояний.

8. Поверхностная проводимость и методы её измерения. Зондовый и индукционный методы определения поверхностной проводимости.

9. Электро- и фотоотражение. Эллипсометрия: теория, принцип работы нуль-эллипсометра и спектроскопического эллипсометра.

10. Работа выхода электрона из твёрдого тела. Методы измерения работы выхода, в том числе диодный метод и метод динамического конденсатора.

11. Методы полевой эмиссии. Полевой электронный микроскоп. Полевой ионный микроскоп. ПИМ с атомным зондом.

12. Устройство и принцип работы сканирующих зондовых микроскопов (СТМ, АСМ).

13. Просвечивающий электронный и растровый электронный микроскопы - устройство и принцип работы.

14. Методы электронной спектроскопии: УФС, РФС, СПЭ, ЭОС, СНИ, энергодисперсионный анализ. Конструкции энергоанализаторов.

15. Методы ДМЭ, ДОБЭ.

16. Методы ВИМС, РМИ, СНИ. Конструкции масс- анализаторов.

17. Атомно-эмиссионная спектроскопия. ИК-спектроскопия: метод НПВО.